可加工工件口徑250mm，表面粗糙度Ra<2nm，面形精度PV<0.2μm。
可加工平面、球面、錐面、非球面、離軸面、自由曲面、衍射面、模仁D-CUT等。
可選配B軸，實(shí)現(xiàn)360°分度功能，用于加工多棱反射鏡。
可加工材料包括銅、鋁、單晶鍺、硒化鋅、單晶硅、硫系玻璃、氟化物、樹脂、人工晶狀體、PMMA等。
超精密氣體靜壓主軸，標(biāo)配C軸功能
主軸采用內(nèi)裝式電機(jī)+高精度編碼器
X/Z軸均采用液體靜壓導(dǎo)軌，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，全閉環(huán)控制
PMAC可編程控制器
真空度可切換吸盤
精密微調(diào)刀架
在線動(dòng)平衡調(diào)整系統(tǒng)
自水平氣浮隔振系統(tǒng)
壓縮空氣處理系統(tǒng)
恒壓伺服液壓系統(tǒng)
